XYZ-Positioniersystem für die Halbleiterinspektion

Die Bewegungsachsen können stillstandsfrei ausgewechselt werden, da das Interface vorjustiert ist.
Die Bewegungsachsen können stillstandsfrei ausgewechselt werden, da das Interface vorjustiert ist.
Die Bewegungsachsen können stillstandsfrei ausgewechselt werden, da das Interface vorjustiert ist.
Die Bewegungsachsen können stillstandsfrei ausgewechselt werden, da das Interface vorjustiert ist. Bild: Steinmeyer Mechatronik GmbH

Das XYZ-Positioniersystem zur automatisierten Inspektion hat Steinmeyer Mechatronik für die Qualitätskontrolle von großen Wafern, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Es erlaubt die Hochgeschwindigkeitspositionierung entlang zweier linearer Achsen und gewährleistet einen erhöhten Durchsatz. Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720mm erlaubt die gleichzeitige Überprüfung mehrerer 300-mm-Wafer oder einzelner bis 700x700mm großer Substrate mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000mm/s. Eisenlose Direktantriebe machen dieses hohe Tempo möglich. Dank der Wiederholgenauigkeit von 0,3µm lassen sich präzise Messergebnisse erzielen. Die Z-Achse wurde für Sensoren und Kamerasysteme bis 5kg konzipiert. Die Vertikalverstellung kann dabei fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation erfolgen. Bei dem XYZ-System handelt es sich um eine Komplettlösung mit Stahlgestell und Luftdämpfern, wobei letztere zusammen mit der Grundplatte aus Granit eine Entkopplung gegenüber Bodenvibrationen sicherstellen. Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten sind vorhanden. Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie angepasster Verkabelung und Vakuumführung entsprechend der eingesetzten Sensorik und Waferaufnahme geliefert.

www.steinmeyer-mechatronik.de

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