Bild: Excelitas Technologies Corp. 
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Qioptiq erweitert sein Mikroskopsystem mag.x system 125 um Komponenten zum automatischen Fokussieren. Das modulare System für die optische Inspektion unterstützt hochauflösende Sensoren bis 57mm Durchmesser und erreicht Auflösungen im Submikrometerbereich. Dies verdankt sie Objektiven mit einer hohen numerischen Apertur und einer großen Eintrittspupille. Das optionale integrierte Autofokusmodul enthält einen Piezo-Aktuator oder einen Schrittmotor zum Verfahren der z-Achse, die das Prüfobjekt im Bruchteil einer Sekunde bis auf wenige Nanometer genau fokussieren. Die Basiseinheit des Moduls koppelt den Laser des Autofokussensors in den Strahlengang ein. Der Autofokussensor und der Aktuator bilden zusammen ein geschlossenes System, das eine optimale Fokussierung in der Objektebene gewährleistet.