Der 3D-Sensor R3000 von Pepperl+Fuchs beruht auf der Pulse Ranging Technology. Basierend auf über 250.000 ausgesendeten Laserpulsen/s lassen sich damit Entfernungen von wenigen Zentimetern bis hin zu mehreren Hundert Metern auf den Millimeter genau messen. In dem Sensor ist ein MEMS-Spiegel integriert. Mit der Bewegung des piezoelektrisch angetriebenen Elements wird der ausgesendete Laserstrahl in zwei Achsen um 40×30° abgelenkt, womit der Sensor mit einem kleinen Lichtfleck und einer lückenlosen Abtastung hochauflösende 3D-Punktewolken mit hoher Detailgenauigkeit erzeugt. Zudem wird ein überlagertes Intensitätsbild erzeugt, das die Szene visualisieren und so die Programmierung und Bedienung erleichtern kann.