Das Miniaturpositioniersystem XYZ-Phi-Delta von Steinmeyer Mechatronik besteht aus einem Tripod und einem XY-Kreuztisch (beide mit Durchlichtöffnung) und soll so die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme vereinen. Es ist präzise, einfach ansteuerbar, kompakt und für Millionen von Zyklen ausgelegt. Mit Abmessungen von 235x235x170mm realisiert das Positioniersystem Verfahrwege in XY von 100mm, einen Hub von 4mm sowie Kippungen in Phi und Delta von 4°. Die drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen des Tripods sind mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen.