Für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung hat Steinmeyer Mechatronik ein kompaktes Gantry-System entwickelt, das Präzision im Submikrometerbereich mit langen Verfahrwegen und hoher Dynamik kombiniert. Das Gantry ermöglicht Bewegungen über eine Fläche von 1.000x800mm bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3µm. In der horizontalen XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren für Prozessgeschwindigkeiten von 500mm/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200mm/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Traverse ist für Lasten bis 10kg ausgelegt, die Höhe kann je nach Anwendung und Bauteilhöhe bis 500mm variieren. Die Lieferung erfolgt mit Gestell und abgestimmten Schwingungsisolatoren, sowie mit integrierter Sicherheitstechnik nach Maschinenrichtlinie. Die Steuerung wird auf die Steuerungsarchitektur des Kunden angepasst, eine bewegungssynchrone Triggerung der kundenspezifischen Messsensorik ist möglich. Durch den Aufbau ist eine Integration in Taktstraßen und das Anreihen mehrere Portale realisierbar. Für die Inspektion komplexerer Geometrien ist eine Kombination mit Hebetischen und/oder Drehachsen möglich.
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